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  量測儀可定義為一類具有可作3個方位移動的探測器，可在3個互相垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方法傳輸訊號，3個軸之移動量測系統(tǒng)（如光學尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機等計算出工件的各點坐標（x,y,z）及各項功能量測的儀器，三坐標測量儀是坐標測量儀中的一類。
  氣動量儀這種測量方法是利用光柵繞射所制成的量測系統(tǒng)又稱光學尺，其光線經(jīng)過瞄準透鏡而映射到游動刻度尺和主刻度尺，藉其光波產(chǎn)生Moire條紋明暗訊號之原理，由光電管接收其信號，經(jīng)擴大及修正后就可以展示出來，其系統(tǒng)及輸出信號情形。

  使用量測前準備應檢查空氣軸承壓力是不是足夠，安裝工件測頭選取及安裝，將恰當之測頭裝于Z軸承接器，檢視Z軸是不是會自動滑落（否則應調(diào)整紅色壓力平衡調(diào)整閥）。鎖住各軸之恰當位置，量測使用應開啟處理機電源，啟開打印機開關(guān)，參考操作手冊，選取所需功能之指令進行量測，并讀取量測值。完成后注意事項有Z軸移到原先位置后鎖住，X,Y軸各移到中央鎖住，關(guān)電源及壓力閥，拿掉測頭并作恰當?shù)谋ｐB(yǎng)。